管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。
【特徴】
■精密な温度制御や温度勾配が可能
・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、
精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。
■御要望の電気炉を一台から製作可能
・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径
のものまで様々な管状炉を製作しています。
■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。
(※)ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術
【仕様】
・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM
・最高温度 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃）
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基本情報管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたものが管状炉となります。炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径のものまで様々な管状炉を製作しています。
またカンタルは高温使用できる合金です。カンタルを耐熱材料や耐熱金具として使用したいという御要望にもお応えしております。
※詳しくはお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 半導体製造装置から工業・生産ライン、研究開発、温度校正（熱電対校正炉）にて使用 |
取扱企業管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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