高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。
【特徴】
・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております
・専用のクリーンルームにて生産しています
・高精度を実現します
厳選された素線（高純度材料）を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします
・高温炉内温度を正確に測定いたします
・最先端装置に搭載されています
・校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能です
ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします
※詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。新品の作製はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
装置内汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用しクリーンルーム内で製作いたします。また、高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。
※詳しくはお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | 【用途】 熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとして、高温炉用装置で使用されています。 |
取扱企業高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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