アズサイエンス株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

日本電子株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。
従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。

〇特長
・ライナー大容量化。
・ハイレート化
・大型装置対応。
・厚膜対応。赤外用途への対応も可能
・レート安定化
・低ダメージ・低欠陥・低吸収

※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報BS-60610BDS ボンバード蒸着源

【仕様】
BS-60610BDS:ボンバード蒸着源 本体 6点ライナータイプ
出力:最大 4.8 kW
冷却水:4~5 L / min, 水温 10 ~ 25°C
動作圧力:5×10-5 ~ 1×10-2 Pa

価格情報 価格に関してはお問い合わせください。
価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
※配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名 BS-60610BDS
用途/実績例 【用途】
真空蒸着

カタログBS-60610BDS ボンバード蒸着源

取扱企業BS-60610BDS ボンバード蒸着源

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アズサイエンス株式会社 松本本社

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