アズサイエンス株式会社 BS-60310BDS ボンバード蒸着源

最終更新日：2023-07-12 11:42:12.0
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ダメージレス蒸着

日本電子株式会社 BS-60310BDS ボンバード蒸着源
蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てません。

〇特長
・間接加熱方式
・成膜中の反射電子ダメージとX線ダメージなし
・スプラッシュが抑制され、低欠陥成膜可能
・分解・組成ずれなし
・光学吸収が少ない。
・安定成膜可能

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基本情報BS-60310BDS ボンバード蒸着源

【仕様】
BS-60310DBS：ボンバード蒸着源　本体 6点ライナータイプ
出力：最大1.2 kW

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価格情報	価格に関してはお問い合わせください。
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名	BS-60310BDS
用途／実績例	【用途】材料の蒸着