SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。
【特徴】
■剛性、耐久性が強化
・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。
■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計
・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し）
■大手露光装置メーカーにより認可済
■超音波洗浄及び純水洗浄装置に適合
■温風ノズル、放射式真空乾燥オーブンに適合
■乾燥時の最高温度: 60℃（均一） 使用時温度：18℃～30℃
※国内外デバイスメーカにて採用実績あり
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基本情報SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
基本構成部品は金属となっており、樹脂製SMIF PODと比べ非常に高い耐久性を有します。
金属製マルチレチクルカセットは、徹底した静電対策と併せて、レチクルを強固に保護することに配慮して設計されています。
事前調整されたハンドリングシステムでレチクルを安全に取り扱うためにはその剛性と耐久性は必要不可欠です。
クロム磨耗とレチクルの粉砕を最小限にとどめるためにレチクルとの接触部はすべてプラスチックを使用しています。
高度に研磨された黒色仕上げはブライトライト検査システムでの粒子検出に効果を発揮します。
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | 【用途】 ・国内外デバイスメーカにて採用されています。 |
取扱企業SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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