ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。
この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。
【特徴】
・黒鉛材料のダスト発生を抑えます。
・黒鉛材料表面だけでなく内部まで浸透しています。
・黒鉛材料からのガスの発生を抑えます。
・黒鉛材料のガス透過を抑えます。
・黒鉛材料の様々な形状への対応が可能です。
・金属、ガラスとの反応性を抑えます。
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基本情報ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。この技術により、半導体製造装置用部品にコーティングすることで、部品からのパーティクル発生を抑えることができます。
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| 用途／実績例 | 【用途】 ・半導体製造用治具 ・FPD製造用治具 ・電子部品組立用治具 ・蒸着用ルツボ ・ハーメチックシール用治具 ・高温および真空部品 ・その他の黒鉛加工品 |
取扱企業ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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