アズサイエンス株式会社 BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃
- 最終更新日：2023-07-12 11:43:29.0
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学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます
日本電子株式会社 BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃は、真空チャンバー内に設置し、高密度プラズマを発生させるプラズマ源です。真空蒸着と組み合わせたプラズマアシスト蒸着 (イオンプレーティング) 法により、光学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます。また基板のクリーニングや表面改質にも有効です。
〇特長
・低電圧・大電流の高密度な直流プラズマにより、ガス分子や蒸発粒子を高効率にイオン化
・反応性蒸着可能
・大面積へハイレートで成膜が可能
・様々なレイアウトの真空装置へ搭載することが可能
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃
【仕様】
最大放電出力：6kW (160V, 38A)
動作圧力：1×10-2～1×10-1 Pa (Ar、O2、N2雰囲気中)
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| 価格情報 | お問い合わせください。 |
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| 価格帯 | 1000万円 ~ 5000万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | BS-80011BPG |
| 用途／実績例 | 【用途】 プラズマアシスト蒸着やクリーニング、表面改質 |
カタログBS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃
取扱企業BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃
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■医薬品・試薬の販売 ・基礎研究用試薬 ・体外診断用医薬品 ・動物用医薬品 ・化学工業薬品 ■機器の販売・修理 ・理化学機器 ・医療用機器 ・分析用機器 ・その他機械や器具
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