レーザ光を応用！LEDやICなどの半導体の材料となる結晶成長の状態をモニタする装置
株式会社田中産業社にて『半導体結晶成長モニタリング装置』を開発した
事例をご紹介します。
表面の(1)ひずみ率、(2)温度、(3)反射率の状態をモニタリングしながら
ファイル保存。反射率は時刻と共にレーザ光の干渉により振動します。
その周期は波長の同じ長さですから成長の度合いを算出することができます。
【概要】
■表面の(1)ひずみ率、(2)温度、(3)反射率の状態を
モニタリングしながらファイル保存
■反射率は時刻と共にレーザ光の干渉により振動
■周期は波長の同じ長さのため、成長の度合いを算出することができる
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基本情報【開発事例】半導体結晶成長モニタリング装置
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取扱企業【開発事例】半導体結晶成長モニタリング装置
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