株式会社アントンパール・ジャパン半導体プロセスにおける硫酸アンモニウムの回収と濃度センサー

最終更新日：2024-01-09 14:42:28.0
印刷用ページ

半導体工程での実用例：硫酸とアンモニア性窒素が含まれる排液から硫酸アンモニウムを回収するプロセスで濃度センサーが重要な役割を

　オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーで薬液濃度の測定を行います。
　調合、供給ラインの濃度管理から、再生、回収ラインなど、様々な目的に使用できます。また、液体だけでなくスラリーにも対応します。
　
　接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、溶媒、酸、アルカリなどにも対応し、幅広い可能性を秘めています。密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。

　下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。

基本情報半導体プロセスにおける硫酸アンモニウムの回収と濃度センサー

測定対象　：　硫酸アンモニウム、硫酸、アンモニア性窒素、過酸化水素
測定範囲　：　0~100％（測定対象による）
温度範囲　：　-40~125℃
接液材質　：　ステンレス、ハステロイC276、インコロイ、タンタル
　※ガラスの場合はL-Dens3300型にて対応となります。

-Dens4xxシリーズ、DPRnシリーズの後継機です。

（このセンサーは、液体用振動式密度計・プロセス液体密度計・流体プロセス・プロセス用精密密度です。また、真の密度が測定できるセンサーであり、コリオリ式・浮子式・質量流量式ではありません）

価格情報	精度などによっては安価な別の密度計でも対応可能です。ご相談ください。
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※2か月程度
型番・ブランド名	L-Dens7400 / L-Dens7500
用途／実績例	他の実績　オンラインでのスラリー濃度測定、薬液濃度・セラミックスラリー（コンデンサ用チタン酸バリウムの固形分測定含む）・金属スラリー・食品　　　　など目的：　固形分濃度（蒸発残留物）の測定　　　　固液の配合比のモニタリング　　　　揮発性液体の添加コントロール　　　　ミキサー工程の安定性のモニタリングマーケット：　半導体、電子部品、素材、コーティング剤、フィルム、セラミック、食品、インク、化粧品、ポリマー、燃料電池、など