クリーンルーム内部機器『サーマルクリーンチャンバー』日本エアーテック

温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能！5～40％RHの低湿度仕様のご要望にも対応

『サーマルクリーンチャンバー』は、清浄度がISOクラス4（クラス10）の
クリーンルーム内部機器です。

PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、
温度ゆらぎ精度は0.1℃～0.002℃まで可能。

また、湿度制御は40～60％RHの標準仕様範囲のほか、5～40％RHの低湿度仕様の
ご要望にもお応えします。

【特長】
■清浄度はISOクラス4（クラス10）
■±0.1℃～±0.005℃の温度コントロールが可能
■内蔵装置に合わせた設計が可能
■複数の保護回路により安全性を考慮

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報クリーンルーム内部機器『サーマルクリーンチャンバー』

【種類】
■Cタイプ（エンクロージャー型）
■Bタイプ（開放型）
■Sタイプ（分離型）

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用途／実績例	【用途】 ■半導体製造：ステッパー（縮小投影露光装置）、アライナー、電子ビーム描画装置 ■表示パネル製造：液晶パネル、プラズマディスプレイ、有機EL ■精密加工：鏡面研磨機、レーザー加工機、磁気ヘッド切削機等 ■精密測定器：精密測長機、2次元・3次元測長機 ■バイオロジカリー：精密顕微鏡、温湿度変化を嫌う試料の取扱い等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログクリーンルーム内部機器『サーマルクリーンチャンバー』

インダストリアル関連機器カタログ Vol.21

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取扱企業クリーンルーム内部機器『サーマルクリーンチャンバー』

日本エアーテック株式会社本社

クリーンエアシステムの専門メーカーとして、独自の技術を背景にクリーンルーム、クリーンベンチ、バイオハザードシステム等の開発、設計製造、販売を行っております。高信頼性が求められる半導体・液晶分野、再生医療分野などへの納入実績など高い技術力が私たちの強みです。クリーンエアシステム分野において、国内トップシェアを誇っております。日本国内に16拠点、海外に8拠点（中国・シンガポール・台湾・韓国・インド・ドイツ・ベトナム）の営業所や工場を持ち、お客様のニーズに迅速かつ的確に応えることのできる体制を整備しています。