水晶・ペニング冷陰極真空計バキュームプロダクツ

放電の停止による制御出力の誤動作をなくした安全な設計！複合型広帯域真空計のご紹介

『水晶・ペニング冷陰極真空計』は、大気圧から超高真空までを一つの
ゲージヘッド・コントローラーで測定可能です。

水晶振動子の共振抵抗値が気体の摩擦による抗力が、圧力とともに
変化することを利用した水晶真空計と、磁場中の冷陰極放電電流が
圧力にほぼ比例することを利用したベニング真空計を一つのゲージヘッド、
一つのコントローラに組込んでいます。

高い圧力での電極の汚染が少なく、また放電の停止による制御出力の
誤動作をなくした、高信頼性でかつ安全な設計になっています。

【特長】
■大気圧から超高真空までを一つのゲージヘッド・コントローラーで測定可能
■ぺニング真空計部、高電圧は2.5x10^-2Torr以下で印加されるため、
　高い圧力での電極の汚染が少ない

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関連リンク - http://www.vac-p.co.jp/Catalog/VP02-02-2_GPQ-111.h…

基本情報水晶・ペニング冷陰極真空計

【製品仕様（一部）】
■測定範囲：760～1×10^-8Torr
■真空度表示：アナログ　ANALOG
■外部出力：0～10V
■測定用ケーブル：3m/Max100m
■入力電力：AC 100V±10％

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