ピー・エス・シー株式会社 VCM駆動空気圧サーボ弁(直動型空気圧サーボ弁)
- 最終更新日:2024-04-02 17:11:29.0
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ムービングコイル駆動による精密制御!軽量案内弁による高速応答を実現
当社で取り扱う『VCM駆動(直動型)空気圧サーボ弁』をご紹介します。
電気-機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。
ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。(精密位置決めステージ等)
「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。
【特長】
■大流量
■高い分解能、低いヒステリシス
■静圧軸受による低誤差、長寿命
■少ない内部リーク
■軽量案内弁による高速応答を実現
■デジタルセンサまたはアナログセンサによる位置制御(流量制御弁)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報VCM駆動空気圧サーボ弁(直動型空気圧サーボ弁)
【仕様(一部)】
■AS310S(流量制御 3方弁)
・定格圧力:600kPa
・定格流量:200NL/min
・定格電流:1.0A
■AS311S(流量制御 5方弁)
・定格圧力:600kPa
・定格流量:200NL/min
・定格電流:1.5A
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログVCM駆動空気圧サーボ弁(直動型空気圧サーボ弁)
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