マグネトロンスパッタ装置『scia Magna 200』ハイテック・システムズ

最大200mm径基板！ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer FEP)

『scia Magna 200』は、回転式単体マグネトロンの
マグネトロンスパッタ装置です。

アプリケーションは、TC-SAW向け温度補償膜(SiO2)、AlN等圧電膜、
光学用高・低屈折膜、絶縁膜(Si3N4, SiO2, Al2O3)です。

また、プロセスはマグネトロンスパッタとなっております。
ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。

【特長】
■最大200mm径基板
■回転式単体マグネトロン(最大径300mm)
■共焦式4マグネトロン
■ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer FEP)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.hightec-sys.com/mems/scia.html#maker

基本情報マグネトロンスパッタ装置『scia Magna 200』

【アプリケーション】
■TC-SAW向け温度補償膜(SiO2)
■AlN等圧電膜
■光学用高・低屈折膜
■絶縁膜(Si3N4、SiO2、Al2O3)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取扱企業マグネトロンスパッタ装置『scia Magna 200』

株式会社ハイテック・システムズ

中古半導体製造装置/FPD製造装置の買取及び販売中古部品と補器の買取及び販売半導体/FPD生産ラインの移設とリファービッシュ新規海外製先端デバイス製造装置/研究開発装置の販売及びサポート・Veeco ・PLASMIONIQUE ・scia Systems ・NEOCERA ・ANNEALSYS ・JIACO ・SENTECH