イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』ハイテック・システムズ

最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載！イオンビームスパッタ装置をご紹介

『scia Coat 200/500』は、最大200mmウエハ基板又は
300mm×500mm基板対応の製品です。

プロセスは、イオンビームスパッタリング(IBS)、
イオンビームエッチング(IBE)、デュアルイオンビーム
スパッタリング(DIBS)となっております。

ご用命の際は、お気軽にご相談ください。

【特長】
■最大200mmウエハ基板又は300mm×500mm基板対応
■最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載
■RFソース(120mm～350mm)
■リニアマイクロウエーブECRソース(2×380mm長)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.hightec-sys.com/mems/scia.html#maker

基本情報イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』

【アプリケーション】
■光学用(X線ミラー、バンドパス/ノッチフィルター、反射防止膜)
■GMR、TMR及びスピンと炉にクス用マルチコーティング
■積層型人工多層膜鏡(ゲーベルミラー)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取扱企業イオンビームスパッタ装置『scia Coat 200/500』

株式会社ハイテック・システムズ

中古半導体製造装置/FPD製造装置の買取及び販売中古部品と補器の買取及び販売半導体/FPD生産ラインの移設とリファービッシュ新規海外製先端デバイス製造装置/研究開発装置の販売及びサポート・Veeco ・PLASMIONIQUE ・scia Systems ・NEOCERA ・ANNEALSYS ・JIACO ・SENTECH