株式会社ハイテック・システムズ レーザーエンドポイントモニター『SLI 670』
- 最終更新日:2023-06-16 16:00:28.0
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透過膜のエッチングや成膜のIn-situでの膜厚モニターに!スポットサイズ100μm
『SLI 670』は、波長が670/980nmのプラズマ装置用
エンドポイントモニターです。
プラズマ装置の上部の窓からレーザービームを照射し
サンプルからの反射光を測定し膜厚を測定します。
ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。
【特長】
■波長:670/980nm
■スポットサイズ:100μm
■モーター駆動ステージ
■反射率、干渉モード
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報レーザーエンドポイントモニター『SLI 670』
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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