DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-050』ハイテック・システムズ

ランプ加熱式の為にRTP、RTCVD処理可能！クオーツ製チューブ型チャンバー

『MC-050』は、最大50mm径基板対応のDLI-CVD/DLI-ALD装置です。

最大成膜温度は1100℃(ランプ加熱方式)で、最大6×DLI気化器を搭載可能。
また、マスフローコントローラーは最大8、ターボポンプ搭載可能です。

ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。

【特長】
■最大50mm径基板対応
■最大成膜温度：1100℃(ランプ加熱方式)
■最大6x DLI気化器を搭載可能
■マスフローコントローラー：最大8
■クオーツ製チューブ型チャンバー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.hightec-sys.com/mems/annealsys.html#ma…

基本情報DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-050』

【その他の特長】
■ターボポンプ搭載可能
■ランプ加熱式の為にRTP、RTCVD処理可能

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取扱企業DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-050』

株式会社ハイテック・システムズ

中古半導体製造装置/FPD製造装置の買取及び販売中古部品と補器の買取及び販売半導体/FPD生産ラインの移設とリファービッシュ新規海外製先端デバイス製造装置/研究開発装置の販売及びサポート・Veeco ・PLASMIONIQUE ・scia Systems ・NEOCERA ・ANNEALSYS ・JIACO ・SENTECH