DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』ハイテック・システムズ

最大成膜温度は800℃！チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭載可能

『MC-100/MC-200』は、スチールステンレス製チャンバーの
DLI-CVD/DLI-ALD装置です。

最大200mm径基板対応、マスフローコントローラーは最大「MC-100」が8、
「MC-200」は6で、ターボポンプ搭載可能となっております。

ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。

【特長】
■最大200mm径基板対応
■最大成膜温度：800℃
■最大4x DLI気化器を搭載可能
■マスフローコントローラー：最大 8
■スチールステンレス製チャンバー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.hightec-sys.com/mems/annealsys.html#ma…

基本情報DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』

【その他の特長】
■ターボポンプ搭載可能
■マスフローコントローラー：最大 8(MC-100)、6(MC-200)
■チャンバー加熱機構(最大 300℃)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』

株式会社ハイテック・システムズ

中古半導体製造装置/FPD製造装置の買取及び販売中古部品と補器の買取及び販売半導体/FPD生産ラインの移設とリファービッシュ新規海外製先端デバイス製造装置/研究開発装置の販売及びサポート・Veeco ・PLASMIONIQUE ・scia Systems ・NEOCERA ・ANNEALSYS ・JIACO ・SENTECH