カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着ハイテック・システムズ

PLUMEシリーズのプラズマソースを搭載可能！PVDやPECVDプロセスに対応

当社では、カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着を取り扱っております。

ハイブリッドリアクター構成によりPVDやPECVDプロセスに対応。

大気開放せずCNTやグラフェン合成の全てのステップ処理を実現し、
基板表面クリーニング、バッファー層成膜、触媒層を含めた
合成ステップに対応しております。

【特長】
■MAGNIONシリーズのマグネトロン装置に
　PLUMEシリーズのプラズマソースを搭載可能
■ハイブリッドリアクター構成により
　PVDやPECVDプロセスに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.hightec-sys.com/mems/plasmionique.html…

基本情報カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着

【その他の特長】
■大気開放せずCNTやグラフェン合成の全てのステップ処理を実現
■基板表面クリーニング、バッファー層成膜、触媒層を含めた合成ステップ対応

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取扱企業カーボンナノチューブ合成装置触媒蒸着

株式会社ハイテック・システムズ

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