株式会社ハイテック・システムズ プラズマイオン注入装置『PUPIONシリーズ』
- 最終更新日:2023-06-21 13:24:34.0
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放射性汚染を最小限に抑制!用途に応じたプラズマ励起技術を提案可能
『PUPIONシリーズ』は、プラズマイオン注入装置です。
ナノエレクトロニクス・フォトニクスでのShallow depth dopingや
β放射線医療のグレードの放射性同位。
放射性同位元素注入時の放射性汚染を最小限に抑制し、
用途に応じたプラズマ励起技術の提案が可能です。
【特長】
■ナノエレクトロニクス・フォトニクスでの
Shallow depth dopingやβ放射線医療
■グレードの放射性同位
■放射性同位元素注入時の放射性汚染を最小限に抑制
■用途に応じたプラズマ励起技術を提案可能
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基本情報プラズマイオン注入装置『PUPIONシリーズ』
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