真空中で2枚のガラス基板等のアライメントを行い、高精度に重ね合せます。
ガラス基板等の仮固定用にUVランプを装備しております。
基本情報真空重ね合せ装置 真空貼合装置
基本仕様
基板サイズ
Max: 300 (W)x400 (L)mmt:0.5~11mm
重ね合せ精度
10μm以下(パターンピッチ公差含まず)
真空チャンバー
真空度10Pa以下
加圧力
Max 1,000kgf (ロードセルにより検出)
ガラス基板固定
静電チャック方式
加熱機構
上下テーブルにヒーター搭載 MAX130℃ (基板接触面温度)
装置寸法·重量
本体
1,855(W)×820(D)x1.533(H) 1,200kg
ラック
650(W)×500(D)×1,286 (H) 80kg
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ガラス基板等の重ね合わせ |
カタログ真空重ね合せ装置 真空貼合装置
取扱企業真空重ね合せ装置 真空貼合装置
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■営業品目 液晶パネル・有機EL・太陽電池 他 関連製造装置 （主にラビング装置、貼り合せ装置など） ■業務案内 ◇常陽工学株式会社は1971年創業（創業42年目）の機械装置メーカーです。液晶パネル・有機ＥＬ・太陽電池他、関連製造装置の設計・製作・販売を行っております。現在の主要製品は貼り合せ装置・ラビング装置です。 ◇貼り合せ装置は、液晶パネル・有機ELパネル・有機EL照明、有機系太陽電池などの貼り合せ・封止用として多くの実績があります。 ◇大阪事業所には、貼り合せ装置・UV真空加圧装置・ホットプレス（ギャップ形成機）などの設備を備えたデモ室があり、試作・テストを行う環境が整っております。お客様と共に問題解決を図りながら、ご満足いただけるまで試作・テストを繰り返し行い、お客様の貼り合せ・封止に対する多様なご要望にお応えしています。試作・デモについては、ご相談下さい 。
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