水集積ユニット「WXUシリーズ」ＣＫＤ

冷却水の循環回路の流量センサ、バルブを一体化した集積ユニットです。

水まわりの面倒な配管設計や配管作業の工数を大幅に軽減するとともに
フットプリントを80%削減してシステムの省スペース化を実現します。

【フットプリント削減】
流量センサ、バルブをユニット化した集積マニホールド、配管レスでフットプリントの大幅な削減を実現。
【工数削減】
ユニット出荷により設計、手配、配管作業、検査工数を大幅削減が可能。
【品質向上】
ネジ込接続か所を大幅に削減したことにより外部漏れのリスクを低減。
【使いやすさ】
エアパージ対応ユニット（WXU-Pタイプ）をラインアップ、多様な冷却回路に対応。
【バリエーション】
流量センサ（カルマン渦式、電磁式）、バルブ（手動、エアオペレイト式）の選択で様々な用途に対応。

基本情報水集積ユニット「WXUシリーズ」

詳しくはカタログをご覧ください。

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用途／実績例	液晶半導体真空成膜装置　スポット溶接装置　鋳造　など