【SOシート導入事例】三次元リソグラフィ加工技術アイセロ

平面でレジストを露光！パターンが微細になるほど光回折によりパターンが乱れます

当社で取り扱うPET/PVA二層フィルム『SOシート』の導入事例として、
「三次元リソグラフィ加工技術」についてご紹介いたします。

“高低差220μmの平凸レンズへの微細加工”をはじめ、“凹型金型への
微細加工”や“金属ロールへの抗菌パターン作製およびフィルムへの転写”
といった例が挙げられます。

詳しい内容は、関連カタログよりご覧ください。

【三次元リソグラフィ加工技術例】
■高低差220μmの平凸レンズへの微細加工
■凹型金型への微細加工
■金属ロールへの抗菌パターン作製およびフィルムへの転写

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.aicello.co.jp/product/so_sheet/

基本情報【SOシート導入事例】三次元リソグラフィ加工技術

【概要】
■パターンが微細になるほど光回折によりパターンが乱れる
（スピナーで均一なレジスト成膜が難しい、露光時のギャップが均一ではない）
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■フォトレジスト：レジスト材料を成膜、平面でレジストを露光、潜像パターン付きシート
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■曲面基板へ貼り付け・PET剥離、PVA水解・レジスト現像
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■エッチング、デポジション、ドーピング

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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