有限会社オルテコーポレーション半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法

最終更新日：2023-07-26 15:01:23.0
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未来を切り拓く、革新的な半導体製造技術！キズと不良をゼロにする究極の性能評価手法と製品

チップの欠陥改善に役立つオルテのコレット

チップの質に応じた適切な材質の選定、設計により、持ち帰りエラーや引っかき傷を完全になくすことを実現！

貴社の製造機器に合わせたカスタマイズや設計でのご依頼も可能です。

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基本情報半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法

評価方法

電子線技術による電気特性測定
従来のSEMに加え、電子線技術を利用した電気特性測定を行うことによって、従来の方法では見つけづらかった不良箇所を高精度に特定できるようになります。電気特性測定によって、半導体チップの電子的性能に関する問題を把握し、改善策を立案することが可能となります。

ナノプローブ技術によるトランジスタ測定
ナノプローブ技術を導入することで、小型化されたプローブを使用してトランジスタを直接測定することができます。この革新的な手法は、主に故障解析に活用されています。トランジスタの微細な部分に生じる不具合やキズを高精度に検出することで、製造プロセスの改善に繋げることができるでしょう。

電子線技術による静電容量測定
電子線技術を用いることで、試料の表面電荷を求めることが可能です。この手法を用いて等価回路の抵抗値や容量値を推定することで、欠陥箇所の特定が行われます。特に、微細な回路の欠陥を見逃さずに発見できるため、製品の信頼性向上に寄与します。

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用途／実績例	遠隔でもビデオ通話を通じて、貴社の悩みをしっかりとブラッシュアップし、半導体製造にかかわる改善を最後まで一緒に行っていきます。弊社では、チップへの引っかきキズをなくすこと、半導体チップの持ち帰りエラーを0％に改善することなどを実現してきました。