アジアファインテック株式会社 CO2 BUBBLER (BUBBLE), 静電気除去

炭酸ガスは静電気防止に優れた効果があります。中空糸膜を介しCO2 GASを給気する方法で、DIWの比抵抗値を制御する装置。

二酸化炭素は大気状態で体積比重が低く、水によく溶け、DIWの水質を悪化させることなく比抵抗を下げることができます。
静電気による“異物付着”防止に効果があります。

DIWの静電気制御。
Membrane Moduleの適用。
流量変動による性能差が少ない。
簡単なシステム制御により、メンテナンスや管理が容易。

価格情報	仕様によって価格は変動します。
納期	~ 1ヶ月
型番・ブランド名	S‐ZERO 100S ~ S‐ZERO 200A
用途／実績例	ウェットプロセス装置の静電気防止用。半導体及び液晶(LCD)製造工程に多数実績が有ります。