小型電子部品用気密検査装置｜MSA-0101 series フクダ

フッ素系不活性液を使用しない気密検査をご提案。液没検査からの圧力漏れ試験法による代替検査装置（PFAS規制対策に有効です）

有機フッ素化合物による液没検査（漏れ検査）の代替検査として、株式会社フクダは以前から圧力変化漏れ試験法による気密検査装置を提供してきました。ＰＦAＳ規制対策に有効です。

この『 MSA-0101 series 』は、グロスリークを確認する最新の密封品用気密検査装置です。
デバイス開発時の試験、抜取り気密検査などの少量向けに開発した気密検査装置となります。
（※ 量産検査やライン投入用には全自動検査装置の『MS sereis』をご用意しています）

検査対象の製品サイズは、小型デバイスとなる数ミリ角から最大は 80 × 70 mm 以下の中大型デバイスまで、計測治具（中子）の製作により対応可能です。

チャンネル数：100 ch の多品種対応　
使用圧力範囲：1 ～ 500 kPa abs （正圧仕様と連成圧仕様有り）
最小可検能力：1×10⁻⁶Pa・m³/s（条件により検出可否有り）
外形寸法：W 290 × D 420 × H 300 mm
重量：約 20 kg

仕様詳細についてはお問い合わせください。

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基本情報小型電子部品用気密検査装置｜MSA-0101 series

チャンネル数：100 ch の多品種対応　
使用圧力範囲：1 ～ 500 kPa abs （正圧仕様と連成圧仕様有り）
最小可検能力：1×10⁻⁶Pa・m³/s（条件により検出可否有り）
外形寸法：W 290 × D 420 × H 300 mm
重量：約 20 kg

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用途／実績例	対象製品は・タイミングデバイス・高周波デバイス・パワー半導体・LED ・コンデンサ・リレー・MEMS ・小型電池など。