インラインオゾン分解装置
卓上型UV照射装置、プラズマ装置等のオゾン排気ガスを分解します。
局所排気設備が無い環境でもオゾンを無害化します。
非金属系触媒による高濃度オゾンガス分解
排気オゾンガス濃度0.1ｐｐｍ以下
長寿命設計 触媒寿命 推奨交換期間 1年
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基本情報オゾン分解装置 中、大風量対応
型 式 OZFIL 20 OZFIL 60 OZFIL M 受注製作品
処理風量 20 L/min 60 L/min カスタム仕様
排出オゾン濃度 0.1ppm以下
（※弊社工場測定条件） カスタム仕様
触媒推奨交換期間 １年
外形寸法 W 200 x H 260 x D 290 mm W 200 x H 260 x D 500 mm カスタム仕様
ダクト接続径 OD 51.5 mm (カスタム対応可)
写真は配管接続カスタムφ100仕様
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | OZFIL |
| 用途／実績例 | UV/O3洗浄改質装置、プラズマ洗浄改質装置など排気オゾンの脱臭、分解装置 |
取扱企業オゾン分解装置 中、大風量対応
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エキシマUV表面改質洗浄技術と表面評価技術の株式会社エキシマ 電子部品、素材、印刷、コーティングなどの幅広い分野で精密な表面処理に基づく製品、サービスを提供します。 ・エキシマ紫外線表面改質洗浄システム ・接触角計（表面評価計測） ・紫外線応用製品 ・オゾン除害ユニット
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