中型～大型電子部品対象気密検査装置｜MSX-7003 フクダ

LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサなどの比較的大きな電子デバイス品が対象の全自動気密検査装置

【MSX-7003 series】は中型～大型の比較的大きい電子デバイス品を対象とした気密検査装置です。

LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ, 電解コンデンサ
などの10 mm角以下の電子デバイス品の気密検査が可能です。

【MSX-7003 series】はシリーズの最上位機種で、
・ヘリウムボンビング
・グロスリークテスト
・ファインリークテスト
の３工程を全自動で行う複合型気密検査装置です。

インラインにも対応しています（パスラインの高さは 940 mm）

他にも、
・グロスリークテストのみを目的とした【MSZ-7003 series】
・ボンビングとファインリークテストを行う【MHX-7003 series】
・ボンビング装置を持たない【MSH-7003 series】
など、お客様の用途に合わせたラインナップをご用意しております。

実際の装置の動画を、下記のYouTube動画でご覧ください。

基本情報中型～大型電子部品対象気密検査装置｜MSX-7003

[ 仕様 ]
外形寸法：W 1,425 × D 1,100 × H 1,800 mm（突起部含まず）
質量：約 2,000 kg
精度（グロスリークテスト）：1×10⁻⁶Pa・m³/s（等価標準リーク, 条件による）
精度（ファインリークテスト）：1×10⁻⁹Pa・m³/s（He）～ 1×10⁻⁶Pa・m³/s（He）
※ 精度は参考値です。製品環境により精度が低下する場合があります
搬送：パレット（又はトレー） to パレット
タクトタイム：1.5 s / 1 個（８ステーション）
※ 詳細はお問い合わせください

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用途／実績例	LED, 光デバイス, 高周波デバイス, パワー半導体, IRセンサ, ジャイロセンサ, 角速度センサ, 電解コンデンサなどの10 mm角以下の電子デバイス品の気密検査が可能です。