ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 VPG 300 DI
- 最終更新日：2023-09-13 09:42:29.0
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VPGシリーズに300x300mm角基板まで対応した高速描画装置が加わりました。
・高精細・高速描画
・最大描画領域 300x300mm2
基本情報VPG 300 DI
最小寸法0.5um、Line Space 0.8umまで描画可能。
選択できるWrite Mode(最小寸法0.5um または0.8um)
高出力DPSSレーザー
最大描画面積 300x300mm2
リアルタイムオートフォーカス
オートローダー
基板検出機能
裏面アライメント機能
Zerodur採用
高精度微分干渉計によるステージ制御
| 価格帯 | 1億円 ~ |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・マスク描画 ・デバイス試作 |
カタログVPG 300 DI
取扱企業VPG 300 DI
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■ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニック社の日本法人。国内のレーザー描画装置の販売及び技術サービス
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