日本ファインセラミックス株式会社 設備導入による高精度化～Zygoレーザー干渉計、超精密平面研削盤
- 最終更新日：2024-03-29 08:10:28.0
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「Zygoレーザー干渉計」「超精密平面研削盤」の新たな導入により、セラミックス部品や金属セラミックス複合材料（ＭＭＣ）部品を、より高精度でお届けできるようになりました。”半導体”や”宇宙”といった先端分野の高度な要求にもお応えいたします。豊富なラインナップより最適なソリューションを提供いたします。まずはご相談ください。
■レーザー干渉計：国内最大級の 450mm x 1,000mm の面をnm精度で評価
■超精密平面研削盤：超高精度(1μｍ以下)×自在な形状加工（真直、平面、凹凸など）
基本情報設備導入による高精度化～Zygoレーザー干渉計、超精密平面研削盤
【新規導入設備スペック】
レーザー干渉計
・カメラ画素数：1,200x1,200画素
・波長λ：633nm
・再現性：0.06nm,λ/10,000（2δ）
・測定レンジTF：450mm
・測定レンジRF：1,000mm
超精密平面研削盤
・テーブル作業面：2,000x600mm
・ストローク：X：2,600mm Y：625mm Z：720mm
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ＜半導体検査装置/ステージ部品＞ ●実績例1【サイズ】690x45mm 【材質】SS701（金属セラミックス複合材料）【平面度】0.543μm＊ ●実績例2【サイズ】918x60mm 【材質】SS701（金属セラミックス複合材料）【平面度】0.745μm＊ ＜半導体製造装置/真空吸着チャック＞ 【ピンチャック部分の面精度】全面PV 0.209μm＊ ＊Zygoレーザー干渉計にて評価 |
カタログ設備導入による高精度化～Zygoレーザー干渉計、超精密平面研削盤
取扱企業設備導入による高精度化～Zygoレーザー干渉計、超精密平面研削盤
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【エレクトロニクセラミックス】 セラミックスの電気的特性を生かした各種電気・電子基板、薄膜集積回路、高品位アルミナ基板、マイクロ波用誘電体基板、ジルコニア基板（セラフレックス） 【エンジニアリングセラミックス】 各種エンジニアリングセラミックス製品、ポンプ・シール用摺動部品、半導体・LED・液晶製造装置用部品、精密機械用部品、耐薬・耐熱・耐磨耗各種部品、医療用機器部品 他 材質：炭化ケイ素、窒化ケイ素、アルミナ、ジルコニア 【金属セラミックス複合材料（ＭＭＣ）】 複合材料の軽量かつ高剛性、振動減衰性を生かした各種精密機器部品、半導体製造装置・検査装置、液晶製造装置・検査装置、マウンター・ボンダー用部品、パワーデバイス用放熱板 他
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