光導波路・ウェハ加工ファンドリーサービス NTTデバイスオプテック

光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス！世界トップクラスの石英系光導波路製造技術をフル活用！

NTTグループが保有する世界トップクラスの石英系光導波路製造技術をフル活用し、光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービスを提供致します。
6インチ(150mm)ラインを用い、ガラス成膜、微細エッチング加工、メタル成膜・加工など、工程ごとの個別受託も対応致します。
試作品から量産品まで、お客様のご要望に応じて幅広く対応いたします。

【サービス紹介】
■お客様の回路設計情報に基づくフォトマスク作製
■ガラス成膜
■ガラス・Si微細エッチング加工
■メタル膜形成・加工
■ウェハ加工、特性評価
など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.ntt-innovative-devices.com/optech/foun…

基本情報光導波路・ウェハ加工ファンドリーサービス

【主な保有技術】
■成膜技術：　スパッタ、常圧CVD、蒸着、火炎加水分解堆積(FHD)、高温アニール
■フォトリソ技術：　縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー
■微細加工技術：　ガラスRIE、メタルRIE、ガラス・Si-Deepエッチング、リフトオフ
■ウェハ後工程技術：　ダイシング、端面研磨、光ファイバ接続、薄膜波長板(λ/2、λ/4)
■評価技術：　走査型電子顕微鏡、ガラス膜厚屈折率測定、精密寸法測定、導波路光学特性評価

【適用製品】
■各種光導波路製品（スプリッタ、AWG、光スイッチ、光干渉計、光カプラ、光フィルタ、光遅延線、90度ハイブリッド、偏波スプリッタ、偏波コンバイナ、導波路型エタロン、RGBカプラ、LiDAR用PLC等）
■加工技術応用製品（マイクロ流路、ナノインプリントモールド、各種機能性薄膜等）

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型番・ブランド名	光導波路・ウェハ加工ファンドリーサービス
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