長野計器株式会社 【用途事例】半導体製造プロセスにおける圧力計測機器<ガス供給系>

ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で新たな価値を創出します!

各種プロセスガスの計測における、圧力計測機器の
用途事例をご紹介します。

半導体ガス供給系に適応する溶接構造と特殊表面処理技術により、
測定ガスの滞留を最小限に抑制。

ガス供給系に適した「高度な圧力計測技術」で
新たな価値を創出します。

【半導体ガス圧力計測分野】
■高純度ガス
■半導体材料ガス
■パージ用ガス

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基本情報【用途事例】半導体製造プロセスにおける圧力計測機器<ガス供給系>

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