ウエハ用実験機～量産機まで製作対応可能　オーブン(焼成)ユニット SCREENファインテックソリューションズ

当社グループであるSCREENフェバックス独自設計『オーブン(焼成)ユニット』のご紹介

当社グループであるSCREENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。

液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている
焼成ユニットを異業界に展開。

手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、
好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。

【特長】
■省スペース化
■低発塵対応
■高い温度再現性、面内温度均一性
■お客様のご要望に合わせた装置製作

【仕様】
■温度性能　：　0-200℃
■温度精度　：　150℃±3℃
■ワークサイズ　：　4～12インチウエハ
■方式　：　ホットプレート方式（基板支持：プロキピンorリフトピン）

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基本情報ウエハ用実験機～量産機まで製作対応可能　オーブン(焼成)ユニット

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取扱企業ウエハ用実験機～量産機まで製作対応可能　オーブン(焼成)ユニット

株式会社SCREENファインテックソリューションズ

SCREENファインテックソリューションズは、各種ディスプレーデバイスの製造プロセスに必要な超薄膜を均一かつ高速に“塗る”ことができるレジスト塗布装置および洗浄、ベークや現像といった前後工程の装置の開発、製造およびインライン化した量産用生産設備の提供を主力事業としております。1976年に初の液晶ディスプレー製造装置を開発して以来、約半世紀にわたって進化するディスプレー製造技術、そこにある人が携える巧みな技術を重ね連ね合わせ、”塗る”を極めながら、情報伝達デバイスの発展に貢献してまいりました。当社はこれからも、ディスプレーデバイスが目指す省エネルギー化、脱炭素化、高機能・多機能化などの性能改善を実現するソリューションの提供を使命とし、その発展と共に技術を磨き、未来の風景につながる取り組みを進めてまいります。また、長年培った塗布・成膜技術をエネルギー分野へと応用展開する取り組みを進めています。その一つとして、「水素」をエネルギーとして活用するデバイスの製造技術開発を進めています。