株式会社SCREENファインテックソリューションズ 【加工受託サービス】鏡面化の解消 石定盤ステージ表面加工
- 最終更新日：2023-11-30 13:05:32.0
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特許を取得し、新たな表面加工方法として大きな注目を集めている
レーザーを用いた石定盤ステージのメンテナンス方法です。
ダイコータ等に使用される石定盤ステージは、使用を重ねると表面が
鏡面化していきます。
鏡面化すると、剥離帯電を起こし、静電気によるパターン破壊や
張り付きによるガラス基板の破損が発生します。
従来は、"ヤスリで削る" "帯電防止剤を塗布する"
"引き剥がし速度を低下させる" など、様々な対策が行われてきましたが、
これらにはそれぞれの課題があります。
当社がご提案するレーザー研磨の技術は、これらの課題を解決し、
新たな表面加工方法として、大きな注目を集めています。
表面を削らないため定盤の平面度はかわらず、
また、削りカス(＝パーティクル)の発生懸念もありません。
さらに、作業時間も手研磨に比べ大幅に削減可能です。
【経験と強み】
■静電気の貼り付き防止だけでなく、コーティングムラが発生しにくい
加工パターンを提案
■作業記録に基づく、お客様の定盤状態の管理
基本情報【加工受託サービス】鏡面化の解消 石定盤ステージ表面加工
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カタログ【加工受託サービス】鏡面化の解消 石定盤ステージ表面加工
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SCREENファインテックソリューションズは、各種ディスプレーデバイスの製造プロセスに必要な超薄膜を均一かつ高速に“塗る”ことができるレジスト塗布装置および洗浄、ベークや現像といった前後工程の装置の開発、製造およびインライン化した量産用生産設備の提供を主力事業としております。1976年に初の液晶ディスプレー製造装置を開発して以来、約半世紀にわたって進化するディスプレー製造技術、そこにある人が携える巧みな技術を重ね連ね合わせ、”塗る”を極めながら、情報伝達デバイスの発展に貢献してまいりました。 当社はこれからも、ディスプレーデバイスが目指す省エネルギー化、脱炭素化、高機能・多機能化などの性能改善を実現するソリューションの提供を使命とし、その発展と共に技術を磨き、未来の風景につながる取り組みを進めてまいります。 また、長年培った塗布・成膜技術をエネルギー分野へと応用展開する取り組みを進めています。その一つとして、「水素」をエネルギーとして活用するデバイスの製造技術開発を進めています。
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