株式会社SCREENファインテックソリューションズ 研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』
- 最終更新日：2024-01-11 16:12:30.0
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『VS-R400G』は、独自のLIA(低インダクタンスアンテナ)方式プラズマ源を採用し、
超高速、高品質な真空成膜を実現するスパッタ装置です。
LIA方式の誘導結合型プラズマ(LIA-ICP)によるアシスト効果により、
成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現。
また、高密度プラズマの特性を活かし、反応性スパッタにも
対応可能です。
【特長】
■実験・研究・評価・試作に好適なスパッタ装置
■成膜速度を落とすことなくダメージを低減し、高品質な成膜を実現
■高密度プラズマの特性を活かし、反応性スパッタにも対応可能
■ロータリーカソードを搭載することで、成膜速度の高速化が可能
■生産機への展開が容易
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』
■対象基材：ガラス板、金属板などの平板
【仕様(一部)】
・対象膜：ITO、アルミナ、化合物、各種金属膜
・成膜方法：デポダウン、インライン成膜
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | VS-R400G |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■機能膜 ■表面改質 ■表面処理 ■改質 ■窒化 ■酸化 ■パッシベーション ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| VS-R400G | ・対象基材：ガラス板、金属板などの平板 |
カタログ研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』
取扱企業研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』
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SCREENファインテックソリューションズは、各種ディスプレーデバイスの製造プロセスに必要な超薄膜を均一かつ高速に“塗る”ことができるレジスト塗布装置および洗浄、ベークや現像といった前後工程の装置の開発、製造およびインライン化した量産用生産設備の提供を主力事業としております。1976年に初の液晶ディスプレー製造装置を開発して以来、約半世紀にわたって進化するディスプレー製造技術、そこにある人が携える巧みな技術を重ね連ね合わせ、”塗る”を極めながら、情報伝達デバイスの発展に貢献してまいりました。 当社はこれからも、ディスプレーデバイスが目指す省エネルギー化、脱炭素化、高機能・多機能化などの性能改善を実現するソリューションの提供を使命とし、その発展と共に技術を磨き、未来の風景につながる取り組みを進めてまいります。 また、長年培った塗布・成膜技術をエネルギー分野へと応用展開する取り組みを進めています。その一つとして、「水素」をエネルギーとして活用するデバイスの製造技術開発を進めています。
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