兼松PWS株式会社 ダイボンダー『MEGA』

充実したInspection機能が搭載!ボンディング前後での品質を確認することが可能

『MEGA』は、1パスで1枚のサブストレートに複数種類のチップを
ボンディングすることが可能な装置です。

オプションを追加することで、精度を25μm~2μmの幅で変える
ことが可能。また、充実したInspection機能が搭載されており、
ボンディング前後での品質を確認することが出来ます。

少量多品種向け/量産/R&Dなど様々な用途での使用が可能です。

【概要】
■メーカー:ASMPT
■製品名:マルチチップ対応ダイボンダーエポキシ接合、UV接合

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ダイボンダー『MEGA』

【仕様】
■アライメント精度:±2μm~25μm(標準25μm)
■サイクルタイム:最大0.25秒/chip
■ダイ対応サイズ:0.15×0.15-10×10mm
■サブストレート対応サイズ
・長さ:50-130mm
・幅:100-300mm
・厚み:0.5-5mm
■接合方法:エポキシ、UV

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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カタログダイボンダー『MEGA』

取扱企業ダイボンダー『MEGA』

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兼松PWS株式会社

・半導体及び電子部品製造・検査装置 お客様のご要望・プロセスに応じた各種装置を提案します。 一貫ラインなどターンキーソリューションのご提供も可能です。 ・関連機器・部品 サブシステムなど関連機器・部品において、お客様のご要望に沿ったきめ細やかなソリューションをご提供します。 ・関連消耗品・受託加工サービス 量産に効果的な消耗品のご案内、更にウエハー、セラミック・プリント基板等の受託加工サービスのご提供によりお客様をサポートします。 ・技術サポート 半導体関連装置、産業機器の設計・製造をはじめ生産ライン及び検査ラインの自動化、省力化等お客様のご要求に合わせたサービスをご提供しています。また、当社装置以外の自動化、安全化メンテナンス等お気軽にお問合せ下さい。

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