三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ三明

研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案！

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、
両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの
スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、
小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマスクアライナー」など、
オンリーワンでローコストな露光装置を多数取り揃えております。

＊詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

【取り扱い製品】
　・手動型露光装置
　　★コンパクトな微細露光のスタンダード機　LAシリーズ
　　★両面プロセスのローコストアシストモデル　BAシリーズ
　　★両面同時露光のマスクアライナー　BSシリーズ
　・半自動型露光装置
　　★セミオートマスクアライナー
　・全自動型露光装置
　　★フルオートマスクアライナー

　＊その他、自動化・量産化のカスタム対応露光装置

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型番・ブランド名	三明MEMS製品【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ
用途／実績例	※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。