【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析ウェーブフロント

お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能！複雑なモデルでも効率良く解析

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・
製造に適したシミュレーションソフトウェアです。

軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを
行う必要なく、高速に結果を得ることが可能。

2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。

【特長】
■低圧プラズマ解析が得意
■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体の
　シミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることが可能
■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意
■2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能
■自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

【さまざまな計算結果を出力】
■ポテンシャル分布
■電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
■壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
■壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
■中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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納期	お問い合わせください
用途／実績例	【さまざまな事例に対応】 ■マグネトロンスパッタ ■PVD、プラズマCVD ■容量結合プラズマ (CCP) ■誘電体バリア放電 (DBD) ■電気泳動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

取扱企業【事例】フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜の解析

株式会社ウェーブフロント本社

株式会社ウェーブフロントの企業理念は、日本の製造業における研究開発～設計～製造～メンテナンスまでのプロセスをシミュレーションという観点からサポートし、企業活動の高度化・効率化に寄与することです。弊社ではこの企業理念の下、 CAEと設備資産管理、信頼性に関するソリューションを提供しています。 CAEの分野では流体解析からマルチフィジックス解析まで各種シミュレーションソフトウェアとこれに関連するプリプロセッサ・ポストプロセッサを、設備資産管理の分野では、各種の装置・設備のメンテナンス管理ソフトウェアを、機能安全・信頼性の分野では故障率のコンサルティングからツールの提供まで一貫したサービスを行っています。