株式会社エーディーエステック 画像センサによる外観検査【半導体検査事例】事例資料プレゼント!
- 最終更新日:2023-12-27 17:58:59.0
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ウェハーおよびマスクの検査における品質管理!優れたウェハー検査システムにおいて重要な役割
高性能のセンサー、カメラ、フレームグラバ、画像処理装置、
画像処理ソフトウェアを用いた、半導体検査事例をご紹介いたします。
テレダインダルサ社の「Falcon2 CMOSカメラ」は、数百メガピクセルの
解像度と高いフレームレートを持っており、エリアスキャン型の
検査システムに好適。
「TDIラインスキャンカメラ」は高い感度を持っており、優れた
ウェハー検査システムにおいて重要な役割をはたしています。
【事例概要】
■半導体ウェハー検査
■半導体マスク検査
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