【コンタミ低減】アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリースニッペコ

歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化！半導体製造装置内のコンタミを低減！

『LOGENEST LAMBDA TKM-03』は、
半導体製造装置などの高真空と耐熱性を有する環境下でも低アウトガスに寄与する特殊グリースです。

高真空（high vacuum）10-1Pa～10-5Pa～超高真空（ultra high vacuum）10-5Pa～10-8Pa向けのグリースとして開発いたしました。

【特長】
■歩留まりに貢献、真空環境下の潤滑に特化したグリース
■アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリースで半導体製造装置内の
　コンタミを低減
■TML(質量損失比)1.0％未満を大幅に下回る(ASTM E595準拠)
■CVCM(再凝縮物質量比) 0.1％以下を大幅に下回る(ASTM E595準拠)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報【コンタミ低減】アウトガスが発生しにくい高真空・耐熱用グリース

【その他の特長】
■摩擦・摩耗の低減による部材の長寿命化
■幅広い温度領域で使用可能

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