現像室にて、整面、ゴミ取りローラー後、塗布と仮乾燥を行います!
当社では、工程設備にて「レジスト」を行っています。
水平式連続両面スプレーコータにて、液状のレジストインクを
エアー霧化式スプレーにより、搬送方向と直交する軸上を
スキャニングしながらコーティング。表面塗布後は、自動的に
基板を反転させ裏面も塗布。
また、仮乾燥ではレジストインク内の溶剤を除去させます。
【工程】
■整面
■ゴミ取りローラー
■塗布
■仮乾燥
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基本情報レジスト
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