高精度で低断面・高剛性!機構備品を使用して、一から設計する手間を削減できる
『SK・・・W』は、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、
テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現した回転ステージです。
回転案内部にさまざまな方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラ
ベアリングを採用。
また、テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けること
ができ、機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を
削減することが可能です。
【特長】
■回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込んでいる
■テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現
■回転案内部にIKOクロスローラベアリングを採用
■クロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現
■テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能
■機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を削減
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報回転ステージ『SK・・・W』
【ラインアップ】
■リミットセンサなし仕様
■リミットセンサ付き仕様
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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