X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、
低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。
直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成
としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを
簡単に構築することが可能。
また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを
採用し、極めて低い断面高さを実現しています。
【特長】
■コンパクトなXYθテーブル
■XYθの組み合わせが自由
■薄形・コンパクト
■高分解能・高応答
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報アライメントステージ『SA』
【ラインアップ】
■SA65DE/X
■SA120DE/X
■SA200DE/X
■SA65DE/S
■SA120DE/S
■SA200DE/S
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログアライメントステージ『SA』
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