【オーダーメイド専用機製造事例】アニール装置西野製作所

シリコン薄膜をアニール(焼く)する装置の小型化・軽量化を実現した事例をご紹介

半導体業界へ「アニール装置」を改造した事例をご紹介いたします。

既存機の電気設備の老朽化の為のリニューアルが必要でした。

チャンバー内を低真空にして窒素を注入して搬送させ、アニールする機械で
ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持し、ストッカー部
のみ取出し可能とする構造にすること、掃除用マドを配置し掃除しやすく
したいとのご要望がありました。

既存機の改造で小型化、軽量化を実現し、要望にお応えしました。

【事例概要】
■課題
・ストッカからアニールステージに移動させる時真空圧を維持する
・ストッカー部のみ取出し可能とする構造にする
・掃除用マドを配置し掃除しやすくする

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基本情報【オーダーメイド専用機製造事例】アニール装置

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