FOUP洗浄装置ダルトン | イプロスものづくり

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】
・洗浄液は純水のみ使用
・他社製品に比べ純水の使用量が少ない

【高い洗浄能力】
・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能
・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　
・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能
・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能
・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能
*Max 約10MPa（1500psi）recipeにて調整可能

特設サイト

基本情報FOUP洗浄装置

OHT・AGV対応
フレームFOUPやFOSBと兼用も可能
装置がコンパクト。6軸ロボット未使用
手動機から自動機まで対応
洗浄室は真空チャンバー及び常圧チャンバーの選択が可能
VOC,AMC（分子状汚染物質）、パーティクル、湿度の要求対応可

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用途／実績例	FOUP洗浄

カタログFOUP洗浄装置

FOUP洗浄装置

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取扱企業FOUP洗浄装置

株式会社ダルトン

研究・検査・医学・教育施設（ドラフトチャンバー・各種実験台・流し台等）およびこれらの施設のプランニング、製作・施工・販売。排ガス・廃液処理装置、恒温恒湿室、低温試験室等の設計・製作・施工・販売。クリーンルーム、バイオクリーンルーム、バイオハザード対策用キャビネット、アイソレーター等の無塵無菌装置、関連機器の設計・製作・施工・販売。エッチングブース等、半導体関連機器の設計・製作・施工・販売。粉粒体加工機械（粉砕、造粒、混合、分級、乾燥、ラボ機他）の設計・製作・施工・販売。