株式会社ラポールシステム EESパッケージ
- 最終更新日：2017-12-11 15:10:02.0
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半導体製造装置が正常に機能しているかを装置データでチェック！装置の信頼性や生産性を向上させるシステムパッケージ
『EESパッケージ』は、低価格でEES（装置エンジニアリングシステム）を
構築し、装置の生産性向上を実現するためのパッケージです。
ユーザーによる通信プログラム作成は不要。必要なパラメータ設定のみでOK。
既設システムにも接続が容易です。
また、メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ値の
変化をトリガとしたイベントを定義可能です。
【特長】
■ユーザーによる通信プログラム作成は不要
■既設システムにも、導入・接続が容易
■パラメータ値の変化をトリガとしたイベントを定義可能
■過去半年のデータの保存が可能
■装置1台に対して、1パッケージ
■動作環境：Windows2000/XP/7
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報EESパッケージ
【機能】
■指定されたSVID及びAIO・DIOのリアルタイム表示
■S1F3でのサンプリング収集(標準)だけでなく、A/Dコンバータ接続による
デバイス直接収集が可能(オプション)
■リミットを越えた場合の挙動の選択(オプション)
■FTP経由にて、CSVデータを送信が可能(オプション)
【導入メリット】
■エンジニアリング効率の向上
■スクラップ低減
■歩留向上
■装置稼働率向上
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| 価格情報 | - |
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