株式会社ラポールシステム　会社案内

株式会社ラポールシステムは、ソフトウェア開発およびハードウェア開発・
販売システム開発を行っている会社です。

”計測・制御・通信”を3本柱に、自社製品のみならず、お客様のご要求に基づく
ボード・ユニット・システム設計・製造をお引き受けし、住みよい社会、
働きやすい環境づくりに貢献したいと考えております。

【事業内容】
■ソフトウェア開発およびハードウェア開発・販売システム開発

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『EESパッケージ』は、低価格でEES（装置エンジニアリングシステム）を
構築し、装置の生産性向上を実現するためのパッケージです。

ユーザーによる通信プログラム作成は不要。必要なパラメータ設定のみでOK。
既設システムにも接続が容易です。

また、メタデータ定義 (パラメータリスト/イベント収集/トレース収集)パラメータ値の
変化をトリガとしたイベントを定義可能です。

【特長】
■ユーザーによる通信プログラム作成は不要
■既設システムにも、導入・接続が容易
■パラメータ値の変化をトリガとしたイベントを定義可能
■過去半年のデータの保存が可能
■装置1台に対して、1パッケージ
■動作環境：Windows2000/XP/7

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『ガラス外観検査装置』は、フロート生産される板ガラスや、
各世代のパネル内部の欠陥及び表面異物の外観検査する装置です。

印刷語のPDPフィルタガラスにも対応。
パネルサイズに合わせて、増設・拡張が可能です。

欠陥情報は、上位HOSTからサンプリング可能なので生産ライン
へのフィードバックおよびデータ管理が容易です。

【特長】
■各世代のパネル内部欠陥および表面異物のガラス検査システム
■パネルサイズに合わせて、増設・拡張が可能
■印刷語のPDPフィルタガラスにも対応
■欠陥情報は生産ラインへのフィードバック・データ管理が容易
■LOGデータ、CSV式ファイルとしても保存することも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『GEMドライバ(LPD-GEM-H/S)』は、半導体製造装置向けのSECS・GEM・
HSMS通信を実現するソフトウェアパッケージです。

DLL形式のドライバですので、開発言語の制約はありません。

SECSＩとHSMSを同一ドライバで実現できますので、ライン立ち上げ後の
変更要求にも少しの変更で対応できます。

【特長】
■SECSＩとHSMSを同一ドライバで実現
■ライン立ち上げ後の変更要求にも少しの変更で対応可能
■プロトコル制御やタイマー監視をDLL上で行う
■SECS IIメッセージの構造をローダで作成しDLLにて送受信時の構造編集・展開処理
■GEMの通信シナリオをDLLで実行可能
■ポートはパソコン標準のRS232CポートまたはLANポートを使用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MEMS圧力センサー高速温特検査装置』は、冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、
MEMS圧力センサーを高速で温特計測が出来る装置です。

冷熱プレートを加減圧容器内に設けた方式により、3温度各3圧力テストを
30分で行なう事ができます。

また、本冷熱プレート式過熱冷却機構を利用して、圧力以外の温特試験の時間も
大幅に短縮することができます。

【特長】
■バンププローブの採用により、小さな実装面積を実現
■3温度各3圧力テストを30分で行なう事が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

株式会社ラポールシステムでは、鉛フリー化などの環境対策を含め、
ご要望に合致した新製品基板の開発・製造をお引き受け致しております。

設計から製造・メンテナンスまでお任せ下さい。

また、OEM製品の製造、出荷検査およびメンテナンスを、RoHS標準や
ISO9000に基づいて行います。

【開発・設計】
■アナログ・デジタル回路設計
■FPGA設計
■PCIバスボード設計
■CPU：SHシリーズ、V800シリーズ他
■ファームウェア＆アプリケーションソフトウェア
　・言語：C++、VB、Delphi
　・OS：Windows2000/XP/NT、iTRON

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『MEMS3軸加速度センサ校正・検査装置』は、パッケージ形状に合致した
プローブ・ソケット／電極傷つけないプローブ・ソケットからインライン自動化まで
トータルでご提供します。

1台のチャンバーで低温(-40℃)～高温(+125℃)までを自動的に検査するローダー・
アンローダを装備した自己完結型の量産用セルシステム「ACT-4125C」をはじめ、
開発用マニュアルタイプ「ACT-4125-M22」などをラインアップしております。

【ラインアップ】
<開発用>
■姿勢保持冶具　JIG007
■マニュアルタイプ　ACT-4125-M22
<量産用>
■セルシステム　ACT-4125C
■カスタムシステム

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの
設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。

本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、
非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に
自動測定及びマッピング処理する事が出来ます。

【特長】
■ウェハ・ガラス基板だけでなく、その他の鏡面基板上の膜厚測定が可能
■膜の光学定数を設定する事で、各種の膜厚測定が測定可能
■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる
■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ
■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談）
■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応
■GEM通信はオプション

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

洗浄前のガラス基板のエッジのクラック検出、グラインディング幅、コーナーカット、オリフラカット、チッピングの欠陥検査を行うシステムです。
低コストのガラスエッジ欠陥検査機をご提供致します。

【特徴】
■既存ラインでも、最少スペースで簡単に設置が可能。
■800mm/secの取り込み検査が可能。
■検査結果LOGデータと欠陥画像をリアルタイムに、作成・保存します。
■LOGデータ、CSV式ファイルとしても保存することも出来ます。

※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせ下さい。　
 （詳細を見る）

独SIEMENS発 独NanoFocus製3Dレーザーセンサーを搭載した超高速3D外観検査装置です。 （詳細を見る）

通信だけでなく、装置でカバーできない自動搬送台車やOHTなどの外部キャリア
搬送機器とのインターフェイスも装置のオンライン通信とリンクして行います。 （詳細を見る）

貴社装置専用のモジュールにビルドアップできます。 （詳細を見る）

ご不明な点がございましたら、お気軽にお問合せ下さい。 （詳細を見る）

高安定計測を可能としました。
 （詳細を見る）

ウェハレベルタイプ、パッケージレベルタイプとございます。 （詳細を見る）

対象ＭＥＭＳセンサ⇒●ＭＥＭＳ加速度センサー●ＭＥＭＳ角速度センサー●ＭＥＭＳモーションセンサー●ＭＥＭＳ圧力センサー （詳細を見る）

測定した結果を2次元または3次元データとして表示します。 （詳細を見る）

読取文字：OCRフォントについては、お問合せ下さい。 （詳細を見る）