キャリアー用非接触ロボットハンドソーラーリサーチ研究所

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。

基本情報キャリアー用非接触ロボットハンド

「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。

価格情報	-
納期	~ 1週間
型番・ブランド名	フロートチャックＦＴＰ型
用途／実績例	「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。