有限会社ソーラーリサーチ研究所 ガラス基板非接触搬送システム
- 最終更新日:2018-03-05 16:02:13.0
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ガラス基板を非接触にて搬送システム
この度、新たに開発した「フロートチャックC型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)およびPDP大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。
基本情報ガラス基板非接触搬送システム
この度、新たに開発した「フロートチャックC型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | LCDガラス基板非接触搬送装置 |
用途/実績例 | この度、新たに開発した「フロートチャックC型」シリーズはさらに、慣性力の効果を付加し、最大限活用するものである。気体噴出機構に新機構を採用しており、従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特にLCD用第8世代大型ガラス基板(2200mmx2200mm)およびPDP大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも多く採用されている。 |
取扱企業ガラス基板非接触搬送システム
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