低圧力損失・高濾過精度セラミックガスフィルターピー・ジェイ

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。
従来のＰＧＦシリーズと全く同じ外形寸法で約2倍の流量を処理できます。

製品特徴
・パーティクル０．００３ｍ以上の高濾過精度
・推奨流量２０〜４００L/min
・エッチングや薄幕形成等に最適な流量、高濾過精度をラインナップ
・メンテナンス・フリーによるコストダウン
・低圧力損失での高流量処理
・高耐食性

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型番・ブランド名	ＰＧＦＬシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など

型番	概要
ＰＧＦＬ－２－＊＊＊＊	流量目安８０～１６０ＳＬＭ
ＰＧＦＬ‐３‐＊＊＊＊	流量目安２０～８０ＳＬＭ
ＰＧＦＬ－４－＊＊＊＊	流量目安１６０～４００ＳＬＭ
	継手 VCR、Swagelok、UPG 各種あり。口径 1/4”、3/8”、1/2”、3/4” 各種あり。