インラインセラミックガスフィルターピー・ジェイ

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

半導体製造ガスラインなどに用いられる（株）ピュアロンジャパン製インラインセラミックガスフィルターです。水や酸素などの不純物の除去を確実に行うための、200℃の高温ベーキングが可能です。

製品特徴
・パーティクル０．００３μm以上の高濾過精度
・推奨流量１０〜２００L/min
・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ
・メンテナンス・フリーによるコストダウン
・高耐食性

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納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせ下さい。
型番・ブランド名	PGFシリーズ
用途／実績例	半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など

型番	概要
PGF‐2－＊＊＊＊	流量目安 40～80SLM
PGF‐3‐＊＊＊＊	流量目安 10～40SLM
PGF‐4‐＊＊＊＊	流量目安 80～200SLM
PGF‐5‐＊＊＊＊	流量目安 10～40SLM
	継手 VCR、Swagelok、UPG 各種あり。口径 1/4”、3/8”、1/2”、3/4” 各種あり。